Том 320 № 3 (2012): Химия

Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.

Ключевые слова:

фототравление, доноры, акцепторы, диоксид кремния, радикалы, десольватация, протофильные реагенты, экспериментальные результаты, фторсодержащие соединения

Авторы:

Е. Н. Гудымович

Е. Ю. Ванифатьева

Скачать bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf